常见的光学仪器
发布时间:2022-06-18 21:59

  传统机械零件受加工设备限制,对面形精度(如粗糙度、平面度等)的要求一般都是微米量级,但在现代化工业生产中,人们对机械零件的加工精度确是开始向纳米量级迈进,所以初探针式、2D方式的传统检测手段,对检测纳米量级精度的机械零件轮廓度参数有很大的局限性。

  中图仪器型号为SuperView W1的光学仪器是一台白光干涉仪,可实现最高0.05%的测量精度重复性和0.002nm的粗糙度RMS重复性,具有测量精度高、使用方便、分析功能强大、测量参数齐全等优点,其独特的光源模式,保证了它能够适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测。

  对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。不仅可用于硅晶片、光学透镜、窗口片、蓝宝石表镜、手机屏等表面粗糙度检测仪,还可对LED衬底、超精密工件、微机电系统等进行超精密检测,在军事和民用领域都有着广泛应用。